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BS EN IEC 62047-46. Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos - Parte 46. Tecnología de fabricación MEMS basada en silicio. Método de medición de la resistencia a la tracción de una membrana a nanoescala.

Estándar No.

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Fecha de publicación

2023

Organización

British Standards Institution (BSI)

Ultima versión

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