IEC 62659 Ed.1, October 2011
Proyecto de norma IEEE/IEC para la fabricación a gran escala de nanoelectrónica

Estándar No.
IEC 62659 Ed.1, October 2011
Fecha de publicación
2013
Organización
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Alcance
Este estándar proporciona un marco para la introducción de nanomateriales como el grafeno en la fabricación a gran escala y de gran volumen en fábricas de semiconductores establecidas. Dado que las fábricas de semiconductores deben incorporar prácticas que mantengan altos rendimientos, existen requisitos muy estrictos sobre cómo se realiza la fabricación. Los nanomateriales representan un contaminante potencial en las fábricas de semiconductores y mu...



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