T/CHBAS 49-2023
Gas fluorometano para la industria electrónica (Versión en inglés)

Estándar No.
T/CHBAS 49-2023
Idiomas
Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación
2023
Organización
Group Standards of the People's Republic of China
Ultima versión
T/CHBAS 49-2023
 
Alcance
Este documento especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, embalaje, transporte y almacenamiento y seguridad del gas monofluorometano (en adelante monofluorometano) utilizado en la industria electrónica. Este documento se aplica al monofluorometano para la industria electrónica que se purifica y prepara a partir de monofluorometano industrial como materia prima. Se utiliza como gas de grabado en el proceso de grabado por plasma de la industria electrónica.

T/CHBAS 49-2023 Historia

Temas especiales sobre estándares y normas

Medición de gas metano Trifluorometano de grado electrónico

estándares y especificaciones

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