DIN 50989-2:2021-04
Elipsometría - Parte 2: Modelo de material a granel; Texto en alemán e inglés.

Estándar No.
DIN 50989-2:2021-04
Fecha de publicación
2021
Organización
German Institute for Standardization
Ultima versión
DIN 50989-2:2021-04
 

Alcance
Este documento especifica un procedimiento para determinar constantes ópticas o dieléctricas mediante mediciones y análisis de elipsometría basados en modelos de materiales a granel. Si se cumplen estrictamente los supuestos del modelo de material a granel, se pueden determinar directamente las constantes ópticas (índice de refracción n y coeficiente de extinción k) o la constante dieléctrica (parte real 1 y parte imaginaria 2) del material. Alternativamente, se determinarán pseudoconstantes ópticas (y) o dieléctricas (y) que dependen del ángulo de incidencia. El grado de consistencia de las pseudoconstantes dentro del rango espectral relevante en mediciones en diferentes ángulos de incidencia representa un prerrequisito esencial para la validez o calidad del modelo de material a granel.

DIN 50989-2:2021-04 Documento de referencia

  • DIN 50989-1 Elipsometría - Parte 1: Principios; Texto en alemán e inglés
  • DIN EN ISO/IEC 17025 Requisitos generales para la competencia de los laboratorios de ensayo y calibración (ISO/IEC 17025:2017); Versión alemana e inglesa EN ISO/IEC 17025:2017

DIN 50989-2:2021-04 Historia

  • 2021 DIN 50989-2:2021 Elipsometría - Parte 2: Modelo de material a granel; Texto en alemán e inglés.
  • 2020 DIN 50989-2:2020-05 Borrador del documento - Elipsometría - Parte 2: Material a granel modelo; Texto en alemán e inglés
  • 0000 DIN 50989-2:2020
Elipsometría - Parte 2: Modelo de material a granel; Texto en alemán e inglés.

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