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BS EN IEC 62047-47. Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos - Parte 47. Tecnología de fabricación MEMS basada en silicio. Método de medición de la resistencia a la flexión de microestructuras.

Estándar No.

23/30454374 DC

Fecha de publicación

2023

Organización

British Standards Institution (BSI)

Ultima versión

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23/30454374 DC Historia

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