T/CHBAS 47-2023
Gas hexafluoropropano para la industria electrónica (Versión en inglés)

Estándar No.: T/CHBAS 47-2023
Idiomas: Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación: 2023
Organización: Group Standards of the People's Republic of China
Ultima versión: T/CHBAS 47-2023

Alcance: Este documento especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, embalaje, transporte y almacenamiento y seguridad del gas hexafluoropropano (en adelante hexafluoropropano) utilizado en la industria electrónica. Este documento se aplica al hexafluoropropano para la industria electrónica que se purifica y prepara a partir de hexafluoropropano industrial como materia prima. Se utiliza como gas de grabado en el proceso de grabado por plasma de la industria electrónica.

T/CHBAS 47-2023 Historia

2023 T/CHBAS 47-2023 Gas hexafluoropropano para la industria electrónica

Temas especiales sobre estándares y normas

Ejecución de propano industrial. Cuerpo C 666c Calidad del propano industrial Norma Nacional para Propano Industrial Proteína 666 fase gaseosa Diagrama del cuerpo C 666. Diagrama del cuerpo C 666. Diagrama de picos del cuerpo C 666 Diagrama de picos del cuerpo C 666 Contenido de proteína 666 Contenido del C-666 Posición máxima del C-666

estándares y especificaciones

T/CHBAS 48-2023 Pentafluoroetano gaseoso para la industria electrónica.

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