Este documento especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, embalaje, transporte y almacenamiento y seguridad del gas pentafluoroetano (en adelante, pentafluoroetano) utilizado en la industria electrónica. Este documento se aplica al pentafluoroetano para la industria electrónica, que se purifica y prepara a partir de pentafluoroetano industrial como materia prima. Se utiliza como gas de grabado en el proceso de grabado por plasma de la industria electrónica.
T/CHBAS 48-2023 Historia
2023T/CHBAS 48-2023 Pentafluoroetano gaseoso para la industria electrónica.