(U.S.) Joint Electron Device Engineering Council Soild State Technology Association
Alcance
Este documento describe el diseño de las estructuras de prueba necesarias para evaluar la confiabilidad de los sistemas de interconexión de barreras metálicas refractarias de aluminio y cobre. Esto incluye cualquier sistema de interconexión metálica en el que una barrera metálica refractaria u otro material de barrera impida que el flujo de iones metálicos de aluminio y/o cobre se mueva entre las capas de interconexión. El material de barrera puede existir en uno o todos los siguientes lugares