IEST RP-CC042.1-2011
Dimensionamiento y recuento de partículas submicrométricas transportadas por líquidos mediante contadores ópticos de partículas discretas

Estándar No.

IEST RP-CC042.1-2011

Fecha de publicación

2011

Organización

Institute of Environmental Sciences and Technology

Alcance

Esta Práctica Recomendada (PR) aborda el dimensionamiento y conteo de partículas submicrométricas en suspensión líquida mediante contadores ópticos de partículas discretas, con especial atención a aplicaciones en las industrias de semiconductores, pantallas planas y almacenamiento de datos. Los temas que se abordan incluyen: Descripción general de la tecnología de dispersión de luz, Tipos de instrumentos de contadores de partículas líquidas (CPL), Interpretación de datos, Nivel de coincidencia o límite máximo de concentración, Límite de detección del tamaño de partícula, Problema de burbujas, Efecto del índice de refracción, Caudal, Verificación de la calibración, Ruido del instrumento y conteos falsos, Práctica para minimizar la contaminación de los sensores, Correlación de sensores y Estadísticas de conteo de partículas.

IEST RP-CC042.1-2011 Documento de referencia

• ISO 21501-2:2007 Determinación de la distribución del tamaño de las partículas. Métodos de interacción de la luz con una sola partícula. Parte 2: Contador de partículas transmitidas por líquido con dispersión de luz.

Temas especiales sobre estándares y normas

estándares y especificaciones