DS/EN 62047-12:2012
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 12: Método de prueba de fatiga por flexión de materiales de película delgada utilizando vibración resonante de estructuras MEMS

Estándar No.
DS/EN 62047-12:2012
Fecha de publicación
2012
Organización
Danish Standards Foundation
Ultima versión
DS/EN 62047-12:2012
 
Alcance
Esta parte de IEC 62047 especifica un método para pruebas de fatiga por flexión utilizando vibración resonante de estructuras mecánicas a microescala de MEMS (sistemas microelectromecánicos) y micromáquinas. Esta norma se aplica a estructuras vibratorias que varían en tamaño de 10 ìm a 1 000 ìm en la dirección del plano y de 1 ìm a 100 ìm de espesor, y a materiales de prueba que miden menos de 1 mm de largo, menos de 1 mm de ancho y entre 0, 1 ìm y 10 ìm de espesor. Los principales materiales estructurales para MEMS, micromáquinas, etc. tienen características especiales, como dimensiones típicas de unas pocas micras, fabricación de materiales por deposición y fabricación de piezas de prueba mediante métodos no mecánicos.

DS/EN 62047-12:2012 Historia

  • 2012 DS/EN 62047-12:2012 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 12: Método de prueba de fatiga por flexión de materiales de película delgada utilizando vibración resonante de estructuras MEMS

estándares y especificaciones

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