LST EN 62047-12-2011 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 12: Método de ensayo de fatiga por flexión de materiales de película delgada utilizando vibración resonante de estructuras MEMS (IEC 62047-12:2011).
Este documento establece métodos de prueba para evaluar la fatiga por flexión de materiales delgados utilizados en dispositivos microelectrónicos, enfocándose en la resonancia de estructuras MEMS. Describe procedimientos detallados para la caracterización de las propiedades mecánicas de estos materiales bajo condiciones específicas de carga y frecuencia. Incluye instrucciones sobre la preparación de muestras, los equipos necesarios, los parámetros de prueba y la forma de registrar y analizar los resultados obtenidos. El objetivo principal es proporcionar una metodología estandarizada que permita comparar de manera consistente las características de los materiales utilizados en aplicaciones relacionadas con dispositivos microelectrónicos. Este enfoque contribuye a garantizar la calidad y la fiabilidad de los componentes fabricados con estos materiales.
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LST EN 62047-12-2011 Historia
2011LST EN 62047-12-2011 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 12: Método de ensayo de fatiga por flexión de materiales de película delgada utilizando vibración resonante de estructuras MEMS (IEC 62047-12:2011).