Esta norma especifica los tipos y parámetros básicos de los tipos comunes de bombas de iones de pulverización catódica. Esta norma se aplica a las subbombas de pulverización catódica tripolares y diodos de dos potenciales.
JB/T 4081-1991 Historia
2011JB/T 4081-2011 Tecnología de vacío: bomba de iones por pulverización
1991JB/T 4081-1991 Tipo de bomba de iones de pulverización catódica y parámetros básicos.