T/NXCL 017-2022 (Versión en inglés)

Alcance: Este documento especifica la clasificación del producto, los requisitos técnicos, los métodos de prueba, las especificaciones de inspección, el marcado, el embalaje, el transporte, el almacenamiento, el contenido del formulario de pedido (o contrato) y el compromiso de calidad de las obleas de pulido monocristalino de silicio Czochralski de 300 mm fuertemente dopadas con fósforo. Los requisitos técnicos incluyen materias primas, propiedades físicas, composición química, parámetros geométricos, defectos inducidos por la oxidación, calidad de la superficie, perfil del borde, etc. Los métodos de prueba incluyen tipo de conductividad, resistividad, cambio de resistividad, contenido de oxígeno intersticial, contenido de oxígeno radial, contenido de carbono, contenido de metal en la superficie, contenido de metal (hierro) del cuerpo, diámetro, orientación del cristal y desviación de la orientación del cristal, espesor y espesor total. Métodos de medición o inspección de variación, curvatura, alabeo, planitud y planitud local, defectos inducidos por la oxidación, calidad de la superficie, dispersores de luz locales (contaminación por partículas pequeñas) y mediciones del perfil de los bordes. Las reglas de inspección se dividen en inspección de fábrica e inspección de tipo.

T/NXCL 017-2022 Historia

2022 T/NXCL 017-2022 Obleas pulidas de silicio Czochralski monocristalino fuertemente dopadas con fósforo de 300 mm