BS ISO 23170:2022
Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad. Perfilado en profundidad no destructivo de películas delgadas de óxido de metales pesados a nanoescala sobre sustratos de Si con dispersión de iones de energía media

Estándar No.

BS ISO 23170:2022

Fecha de publicación

2022

Organización

British Standards Institution (BSI)

Ultima versión

BS ISO 23170:2022

Alcance

Alcance Este documento especifica un método para el perfilado cuantitativo en profundidad de películas ultrafinas de óxido de metales pesados amorfos sobre sustratos de Si utilizando dispersión de iones de energía media (MEIS).

BS ISO 23170:2022 Historia

• 2022 BS ISO 23170:2022 Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad. Perfilado en profundidad no destructivo de películas delgadas de óxido de metales pesados a nanoescala sobre sustratos de Si con dispersión de iones de energía media