Esta norma especifica el método de cromatografía de gases para la determinación del contenido total de carbono en triclorosilano para la epitaxia de silicio. Esta norma es aplicable a la determinación del contenido total de carbono en triclorosilano para la epitaxia de silicio, con un rango de determinación de 0,000,05 % a 0,005 %.
YS/T 1059-2015 Documento de referencia
GB/T 6680 Reglas generales para el muestreo de productos químicos líquidos.
GB/T 9722 Principios generales de la cromatografía de gases con reactivos químicos*, 2023-08-06 Actualizar
YS/T 1059-2015 Historia
2015YS/T 1059-2015 Determinación del carbono total en triclorosilano para epitaxia de silicio mediante cromatografía de gases.