Esta norma especifica los requisitos de integridad y los métodos de inspección y evaluación para las máquinas despegadoras de plasma utilizadas en la producción de circuitos integrados de dispositivos semiconductores. Esta norma se aplica al removedor de pegamento por plasma PRS-801.
SJ/T 31069-1994 Historia
1970SJ/T 31069-1994 Requisitos de preparación y métodos de inspección y evaluación para máquinas desgomadoras por plasma PRS-801.