SJ/T 10311-1992
Especificación genérica del sistema de deposición de vapor químico a baja presión. (Versión en inglés)

Estándar No.

SJ/T 10311-1992

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

1992

Organización

Professional Standard - Electron

Ultima versión

SJ/T 10311-1992

Alcance

Esta norma se aplica al diseño, fabricación y aplicación de procesos de equipos de deposición química de vapor de baja presión y pared caliente horizontal. También se debe utilizar como referencia el desarrollo de otras formas de equipos LPCVD.

SJ/T 10311-1992 Historia

• 1992 SJ/T 10311-1992 Especificación genérica del sistema de deposición de vapor químico a baja presión.