SJ/T 31100-1994
Requisitos de preparación y métodos de inspección y evaluación para máquinas de grabado por haz de iones. (Versión en inglés)

Estándar No.

SJ/T 31100-1994

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

1994

Organización

Professional Standard - Electron

Ultima versión

SJ/T 31100-1994

Alcance

Esta norma especifica los requisitos de integridad y los métodos de inspección y evaluación para las máquinas de grabado por haz de iones utilizadas en la producción de dispositivos semiconductores. Esta norma se aplica a las máquinas de grabado por haz de iones utilizadas en la producción de productos electrónicos y en la investigación científica.

SJ/T 31100-1994 Historia

• 1994 SJ/T 31100-1994 Requisitos de preparación y métodos de inspección y evaluación para máquinas de grabado por haz de iones.