BS ISO 21859:2019
Cerámica fina (cerámica avanzada, cerámica técnica avanzada). Método de prueba para la resistencia al plasma de componentes cerámicos en equipos de fabricación de semiconductores.
- Estándar No.
- BS ISO 21859:2019
- Fecha de publicación
- 2019
- Organización
- British Standards Institution (BSI)
- Ultima versión
- BS ISO 21859:2019
- Alcance
- ¿De qué se trata la ISO 21859 - Resistencia al plasma de componentes cerámicos? ISO 21859 es una norma internacional sobre cerámica fina que cubre un método de prueba para la resistencia al plasma de componentes cerámicos en equipos de fabricación de semiconductores. ISO 21859 especifica un método de prueba para la resistencia al plasma de componentes cerámicos en equipos de fabricación de semiconductores. Es aplicable a componentes cerámicos de componentes resistentes al plasma en cámaras de grabado seco utilizadas en la fabricación de semiconductores. ¿Para quién es la norma ISO 21859 - Resistencia al plasma de componentes cerámicos?...
BS ISO 21859:2019 Historia
- 2019 BS ISO 21859:2019 Cerámica fina (cerámica avanzada, cerámica técnica avanzada). Método de prueba para la resistencia al plasma de componentes cerámicos en equipos de fabricación de semiconductores.
