DIN EN ISO 23131:2023
Elipsometría - Principios (ISO 23131:2021)

Estándar No.

DIN EN ISO 23131:2023

Fecha de publicación

2023

Organización

German Institute for Standardization

Ultima versión

DIN EN ISO 23131:2023

Alcance

Este documento especifica el procedimiento para la determinación de las constantes ópticas y dieléctricas, así como de los espesores de capa en el rango espectral UV-Vis-NIR mediante laboratorios de pruebas acreditados y es adecuado para el control de producción en línea, el aseguramiento de la calidad y el desarrollo de materiales. Adecuado para sistemas de medición independientes. La expresión de la incertidumbre de los resultados cumple con la Guía ISO/IEC 98-3.

DIN EN ISO 23131:2023 Documento de referencia

• ISO/IEC GUIDE 98-3 Incertidumbre de medición - Guía para la expresión de la incertidumbre en la medición (GUM:1995). Ampliación a cualquier número de cantidades de salida.

DIN EN ISO 23131:2023 Historia

• 2023 DIN EN ISO 23131:2023-01 Elipsometría - Principios (ISO 23131:2021); Versión alemana EN ISO 23131:2022
• 2022 DIN EN ISO 23131:2022-08 Documento preliminar - Elipsometría - Principios (ISO 23131:2021); versión en alemán e inglés prEN ISO 23131:2022
• 2022 DIN EN ISO 23131 E:2022 Borrador de Documento - Elipsometría - Principios (ISO 23131:2021); Versión alemana e inglesa prEN ISO 23131:2022
• 1970 DIN EN ISO 23131:1970

Temas especiales sobre estándares y normas

estándares y especificaciones