Este documento estandariza el principio de una espectrómetro de polarimetría elíptica. Define los términos y las definiciones utilizados en este tipo de instrumento, así como sus principios fundamentales para la medición del estado de polarización de luz con variación elíptica.
*** Tenga en cuenta: esta descripción puede no ser precisa; consulte la documentación oficial.
DIN EN ISO 23131 E:2022 Historia
2023DIN EN ISO 23131:2023-01 Elipsometría - Principios (ISO 23131:2021); Versión alemana EN ISO 23131:2022
2022DIN EN ISO 23131:2022-08 Documento preliminar - Elipsometría - Principios (ISO 23131:2021); versión en alemán e inglés prEN ISO 23131:2022
2022DIN EN ISO 23131 E:2022 Borrador de Documento - Elipsometría - Principios (ISO 23131:2021); Versión alemana e inglesa prEN ISO 23131:2022