CEI EN 62047-18:2014 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos Parte 18: Métodos de prueba de flexión de materiales de película delgada
2014CEI EN 62047-18:2014 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos Parte 18: Métodos de prueba de flexión de materiales de película delgada