T/CCGA 90004-2023
Protocolo para medir la eficiencia de destrucción o eliminación (DRE) de equipos de reducción en el punto de uso en pan-semiconductores (Versión en inglés)

Estándar No.: T/CCGA 90004-2023
Idiomas: Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación: 2023
Organización: Group Standards of the People's Republic of China
Ultima versión: T/CCGA 90004-2023

Alcance: Este documento es aplicable a la evaluación de la eficiencia de eliminación de la descomposición de equipos de tratamiento de gases de cola utilizando espectrómetros infrarrojos por transformada de Fourier y detectores de gas portátiles. Se pueden implementar otros instrumentos como referencia.

T/CCGA 90004-2023 Historia

2023 T/CCGA 90004-2023 Protocolo para medir la eficiencia de destrucción o eliminación (DRE) de equipos de reducción en el punto de uso en pan-semiconductores

Temas especiales sobre estándares y normas

Tecnología de prueba de equipos semiconductores. Métodos de tratamiento de gases de escape. Métodos de tratamiento de gases de escape. Cómo lidiar con los gases de escape

estándares y especificaciones

NS-EN ISO 29462:2022 Pruebas de campo de dispositivos y sistemas de filtración de ventilación general para la eficiencia de eliminación in situ por tamaño de partícula y resistencia BS EN ISO 29462:2022 Pruebas de campo de dispositivos y sistemas de filtración de ventilación general para determinar la eficiencia de eliminación in situ por tamaño de partícula EN ISO 29462:2022 Pruebas de campo de dispositivos y sistemas de filtración de ventilación general para la eficiencia de eliminación in situ por tamaño de partícula y resistencia ISO 29462:2022 Pruebas de campo de dispositivos y sistemas de filtración de ventilación general para determinar la eficiencia de eliminación in situ por tamaño de partícula SS-EN ISO 29462:2022 Pruebas de campo de dispositivos y sistemas de filtración de ventilación general para la eficiencia de eliminación en su lugar según el tamaño de partícula ASHRAE GUIDELINE 26-2012 Directrices para pruebas de campo de dispositivos y sistemas de filtración de ventilación general para determinar la eficiencia de eliminación in situ ASHRAE GUIDELINE 26-2008 Directrices para pruebas de campo de dispositivos y sistemas de ventilación general para la eficiencia de eliminación in situ por tamaño de partícula NS-EN ISO 29462:2013 Pruebas de campo de dispositivos y sistemas de filtración de ventilación general para la eficiencia de eliminación in situ por tamaño de partícula y resistencia DANSK DS/EN ISO 29462:2013 Pruebas de campo de dispositivos y sistemas de filtración de ventilación general para determinar la eficiencia de eliminación in situ por tamaño de partícula 12FTM04-2012 Lubricantes para engranajes industriales energéticamente eficientes

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