GB/T 34900-2017 Tecnología de sistemas microelectromecánicos: método de medición para mediciones de deformación residual de microestructuras MEMS utilizando un interferómetro óptico (Versión en inglés)
2017GB/T 34900-2017 Tecnología de sistemas microelectromecánicos: método de medición para mediciones de deformación residual de microestructuras MEMS utilizando un interferómetro óptico