NF EN 62047-21:2014
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 21: método de prueba para la relación de Poisson de materiales MEMS de película delgada

Estándar No.

NF EN 62047-21:2014

Fecha de publicación

2014

Organización

Association Francaise de Normalisation

Ultima versión

NF EN 62047-21:2014

NF EN 62047-21:2014 Historia

• 2014 NF EN 62047-21:2014 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 21: método de prueba para la relación de Poisson de materiales MEMS de película delgada