KS I 0587-2023
Emisiones de fuentes estacionarias: método de medición del caudal volumétrico de GEI distintos del CO2 (CF4, NF3, SF6, N2O) en el proceso de fabricación de semiconductores y pantallas.

Estándar No.

KS I 0587-2023

Fecha de publicación

2023

Organización

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Ultima versión

KS I 0587-2023

KS I 0587-2023 Historia

• 2023 KS I 0587-2023 Emisiones de fuentes estacionarias: método de medición del caudal volumétrico de GEI distintos del CO2 (CF4, NF3, SF6, N2O) en el proceso de fabricación de semiconductores y pantallas.
• 2018 KS I 0587-2018 Método de medición del caudal volumétrico de GEI sin CO 2 (CF 4, NF 3, SF 6, N 2 O) en procesos industriales y procesos de visualización