DIN 32567-4:2015-06 Equipos de producción para microsistemas - Determinación de la influencia de los materiales en la metrología dimensional óptica y táctil - Parte 4: Probetas para procedimientos ópticos
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2015DIN 32567-4:2015 Equipos de producción para microsistemas - Determinación de la influencia de los materiales en la metrología dimensional óptica y táctil - Parte 4: Probetas para procedimientos ópticos