OS GSO IEC 62047-9:2014
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 9: Medición de la fuerza de unión de oblea a oblea para MEMS

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OS GSO IEC 62047-9:2014 Historia

• 1970 OS GSO IEC 62047-9:2014 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 9: Medición de la fuerza de unión de oblea a oblea para MEMS