T/CASAS 032-2023 Método de prueba para determinar el contenido de elementos metálicos en la superficie de una oblea de carburo de silicio: espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente (Versión en inglés)
Este documento describe un método para la determinación del contenido de elementos metálicos en la superficie de obleas de carburo de silicio mediante espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente. Este documento es aplicable a trazas de metales: sodio, aluminio, potasio, calcio, escandio, titanio, vanadio, cromo, manganeso, hierro, cobalto, níquel, cobre, zinc, plata, tungsteno en la superficie de obleas pulidas de carburo de silicio monocristalino y silicio. obleas epitaxiales de carburo Determinación del contenido de elementos como oro, mercurio, etc., el rango de medición es 108cm-2 ~ 1012cm-2. Este documento es adecuado para la determinación del contenido de elementos traza metálicos en la superficie de obleas de carburo de silicio sin patrón, como obleas crudas de carburo de silicio de 100 mm (4 pulgadas) a 200 mm (8 pulgadas), obleas recocidas de carburo de silicio. Nota: El contenido de elementos metálicos en la superficie de la oblea de carburo de silicio se mide en átomos por centímetro cuadrado.
T/CASAS 032-2023 Historia
2023T/CASAS 032-2023 Método de prueba para determinar el contenido de elementos metálicos en la superficie de una oblea de carburo de silicio: espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente