DIN EN 62047-10:2012-03
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 10: Ensayo de compresión de micropilares para materiales MEMS (IEC 62047-10:2011); Versión alemana EN 62047-10:2011
- Estándar No.
- DIN EN 62047-10:2012-03
- Fecha de publicación
- 2012
- Organización
- German Institute for Standardization
- Ultima versión
- DIN EN 62047-10:2012-03
DIN EN 62047-10:2012-03 Historia
- 2012 DIN EN 62047-10:2012-03 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 10: Ensayo de compresión de micropilares para materiales MEMS (IEC 62047-10:2011); Versión alemana EN 62047-10:2011
- 2012 DIN EN 62047-10:2012 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 10: Ensayo de compresión de micropilares para materiales MEMS (IEC 62047-10:2011); Versión alemana EN 62047-10:2011
- 0000 DIN IEC 62047-10:2010
