GB/T 39516-2020 (Versión en inglés)

Alcance: Esta norma especifica los términos y definiciones, tipos y parámetros básicos, requisitos, condiciones de inspección, métodos de inspección, marcado, transporte y almacenamiento de muestras micro y nano estándar (cantidades geométricas). Este estándar es aplicable a la muestra estándar de espaciado de micronanocables con un espacio entre líneas de 0,05 pm a 10 wm, a la muestra estándar de altura de escalón micronano con una altura de escalón de 0,01 am a 100 pm y al espesor de película de 2 nm. Muestra estándar de espesor de nanopelícula y muestra estándar de ancho de línea nanométrico con ancho de línea de 25 nm a 1 000 nm.

GB/T 39516-2020 Historia