NF EN 62047-17:2015
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 17: método de prueba de abultamiento para medir las propiedades mecánicas de películas delgadas

Estándar No.

NF EN 62047-17:2015

Fecha de publicación

2015

Organización

Association Francaise de Normalisation

Ultima versión

NF EN 62047-17:2015

NF EN 62047-17:2015 Historia

• 2015 NF EN 62047-17:2015 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 17: método de prueba de abultamiento para medir las propiedades mecánicas de películas delgadas