DIN 50450-9:2021
Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores - Determinación de impurezas en gases portadores y gases dopantes - Parte 9: Determinación de oxígeno, nitrógeno, monóxido de carbono, dióxido de carbono, hidrógeno y C<(Index)1>
——C<(Index)3>
——hidrocarburos. ..