Esta norma especifica la clasificación, los requisitos, los métodos de prueba, las reglas de inspección, el marcado, el embalaje, el transporte, el almacenamiento, el certificado de calidad, el contenido del pedido (o contrato) y la seguridad del ácido fluorhídrico de alta pureza para su uso en la industria electrónica. Esta norma se aplica al ácido fluorhídrico de alta pureza utilizado en la industria electrónica (en adelante, ácido fluorhídrico de alta pureza). Este producto se utiliza principalmente en la limpieza y grabado de obleas y chips de silicio para polisilicio de grado electrónico, pantallas de cristal líquido, circuitos integrados y circuitos integrados de muy gran escala.
T/CNIA 0062-2020 Historia
2020T/CNIA 0062-2020 Ácido fluorhídrico de alta pureza para la industria electrónica