NF EN 62047-10:2012
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 10: Ensayos de compresión utilizando la técnica de micropilares para materiales MEMS

Estándar No.

NF EN 62047-10:2012

Fecha de publicación

2012

Organización

Association Francaise de Normalisation

Ultima versión

NF EN 62047-10:2012

NF EN 62047-10:2012 Historia

• 2012 NF EN 62047-10:2012 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 10: Ensayos de compresión utilizando la técnica de micropilares para materiales MEMS