Este documento especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, etiquetado, embalaje, transporte, almacenamiento y requisitos de seguridad para una mezcla de gas deuterio/nitrógeno al 3% para circuitos integrados. Este documento se aplica a gases mixtos de deuterio/nitrógeno al 3% para circuitos integrados (en adelante, deuterio/nitrógeno al 3%). Los gases mixtos de deuterio y nitrógeno con otras proporciones de componentes se pueden implementar en consecuencia.
T/CHBAS 32-2023 Historia
2023T/CHBAS 32-2023 Mezcla de gases para circuitos integrados 3% deuterio/nitrógeno