Este documento especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, embalaje, transporte, almacenamiento y certificados de calidad para obleas de silicio pulidas con un diámetro de 300 mm, tipo p y orientación de cristal {100}. Este documento es aplicable a tecnologías de almacenamiento avanzadas: obleas pulidas de silicio tipo p de 300 mm para DRAM, 3D NAND y NOR.
T/ICMTIA SM0027-2022 Historia
2022T/ICMTIA SM0027-2022 Oblea pulida de cristal único de silicio tipo P de 300 mm para tecnología de memoria avanzada