UNE-EN 62047-17:2015
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 17: Método de ensayo de abombamiento para la medida de propiedades mecánicas de películas delgadas (Ratificada por AENOR en agosto de 2015.)

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2015

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UNE-EN 62047-17:2015 Historia

• 2015 UNE-EN 62047-17:2015 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 17: Método de ensayo de abombamiento para la medida de propiedades mecánicas de películas delgadas (Ratificada por AENOR en agosto de 2015.)