ISO 20146:2019 Tecnología de vacío — Vacuómetros — Especificaciones, calibración e incertidumbres de medición para vacuómetros de diafragma capacitivo normas y especificaciones

Alcance: Este documento define términos relacionados con los medidores de diafragma de capacitancia (CDG), especifica qué parámetros deben proporcionarse para los CDG, detalla su procedimiento de calibración y describe qué incertidumbres de medición deben considerarse al operar estos medidores. Este documento complementa las normas ISO 3567 e ISO 27893 cuando calibrar CDG y utilizarlos como estándares de referencia.

ISO 20146:2019 Documento de referencia

ISO 27893 Tecnología de vacío - Vacuómetros - Evaluación de las incertidumbres de los resultados de las calibraciones mediante comparación directa con un manómetro de referencia
ISO 3529-1 Tecnología de vacío — Vocabulario — Parte 1: Términos generales*， 2019-07-16 Actualizar
ISO 3529-3 Tecnología de vacío - Vocabulario - Parte 3: Vacuómetros de presión total y parcial
ISO 3567 Vacuómetros - Calibración por comparación directa con un manómetro de referencia
ISO/IEC Guide 98-3 Incertidumbre de medición - Guía para la expresión de la incertidumbre en la medición (GUM:1995). Ampliación a cualquier número de cantidades de salida.
ISO/IEC Guide 99

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