ISO 23131:2021
Elipsometría: principios
- Estándar No.
- ISO 23131:2021
- Fecha de publicación
- 2021
- Organización
- International Organization for Standardization (ISO)
- Ultima versión
- ISO 23131:2021
- Alcance
- Este documento especifica un método para determinar constantes ópticas y dieléctricas en el rango espectral UV-VIS-NIR, así como espesores de capa en el campo del control de producción en línea, aseguramiento de calidad y desarrollo de materiales a través de laboratorios de prueba acreditados. -sistemas de medición solos. La presentación de la incertidumbre de los resultados se ajusta a la Guía ISO/IEC 98-3.
ISO 23131:2021 Historia
- 2021 ISO 23131:2021 Elipsometría: principios
