ASTM F1228-89(1994)e1 normas y especificaciones

Alcance: 1.1 Este método de prueba cubre obleas compuestas de silicio y otros materiales utilizados en la industria de los semiconductores. 1.2 El método de prueba se utiliza para determinar la masa de carbono orgánico (oxidable) depositado en todas las superficies expuestas de las obleas. No se utiliza para determinar el contenido total de carbono del material de la oblea. 1.3 Este método de prueba se limita a determinaciones de carbono en el rango de 0,1 a 50 µg/muestra. El límite de detección se define como 2·3 desviación estándar (2s). 1.4 Los volátiles pueden perderse durante el almacenamiento o manipulación, o ambos, de las obleas. Este método de prueba no se utiliza para cuantificar compuestos orgánicos volátiles. 1.5 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM F1228-89(1994)e1 Documento de referencia

ASTM D1129 Terminología estándar relacionada con el agua*， 1999-10-26 Actualizar
ASTM D1193 Especificación estándar para agua reactiva*， 1999-10-26 Actualizar