GSO IEC 62047-11:2021
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 11: Método de prueba para coeficientes de expansión térmica lineal de materiales independientes para sistemas microelectromecánicos

Estándar No.

GSO IEC 62047-11:2021

Fecha de publicación

2021

Organización

GSO

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GSO IEC 62047-11:2021

GSO IEC 62047-11:2021 Historia

• 2021 GSO IEC 62047-11:2021 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 11: Método de prueba para coeficientes de expansión térmica lineal de materiales independientes para sistemas microelectromecánicos