T/GVS 007-2022
Método de prueba para la impedancia dinámica del generador de RF. (Versión en inglés)

Estándar No.
T/GVS 007-2022
Idiomas
Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación
2022
Organización
Group Standards of the People's Republic of China
Ultima versión
T/GVS 007-2022
Alcance
Especifica los términos y definiciones, principios, condiciones ambientales de prueba, instrumentos y equipos, métodos de prueba e informes de prueba del método de prueba de impedancia dinámica de la fuente de alimentación de radiofrecuencia. Es adecuado para pruebas de impedancia dinámica de fuentes de alimentación de radiofrecuencia con una frecuencia de salida de 0,2 MHz a 100 MHz en aplicaciones como grabado de semiconductores y deposición de películas delgadas.

T/GVS 007-2022 Historia

  • 2022 T/GVS 007-2022 Método de prueba para la impedancia dinámica del generador de RF.



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