Especifica los términos y definiciones, principios, condiciones ambientales de prueba, instrumentos y equipos, métodos de prueba e informes de prueba del método de prueba de impedancia dinámica de la fuente de alimentación de radiofrecuencia. Es adecuado para pruebas de impedancia dinámica de fuentes de alimentación de radiofrecuencia con una frecuencia de salida de 0,2 MHz a 100 MHz en aplicaciones como grabado de semiconductores y deposición de películas delgadas.
T/GVS 007-2022 Historia
2022T/GVS 007-2022 Método de prueba para la impedancia dinámica del generador de RF.