DIN EN 62047-22 E:2012-11 Componentes semiconductores - componentes de la tecnología de microsistemas - Parte 22: Método de prueba de tracción electromecánica para películas delgadas conductoras sobre sustratos flexibles
2015DIN EN 62047-22:2015-04 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 22: Método de prueba de tracción electromecánica para películas delgadas conductoras sobre sustratos flexibles (IEC 62047-22:2014); Versión alemana EN 62047-22:2014
2015DIN EN 62047-22:2015 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 22: Método de prueba de tracción electromecánica para películas delgadas conductoras sobre sustratos flexibles (IEC 62047-22:2014); Versión alemana EN 62047-22:2014
1970DIN EN 62047-22 E:2012-11 Componentes semiconductores - componentes de la tecnología de microsistemas - Parte 22: Método de prueba de tracción electromecánica para películas delgadas conductoras sobre sustratos flexibles