DIN 50989-5:2023-12
Elipsometría - Parte 5: Modelo de capas múltiples y capas periódicas; Texto en alemán e inglés.

Estándar No.
DIN 50989-5:2023-12
Fecha de publicación
2023
Organización
German Institute for Standardization
Ultima versión
DIN 50989-5:2023-12
 
Alcance
Este documento especifica el método para determinar el espesor de capas individuales di y el espesor total dt de sistemas multicapa y de capas periódicas mediante mediciones de elipsometría y su evaluación, así como las constantes/funciones ópticas (índice de refracción n y coeficiente de extinción k) o dieléctricas (reales e imaginarias2) basadas en el modelo multicapa y de capas periódicas.

DIN 50989-5:2023-12 Documento de referencia

  • DIN EN ISO/IEC 17025 Requisitos generales para la competencia de los laboratorios de ensayo y calibración (ISO/IEC 17025:2017); Versión alemana e inglesa EN ISO/IEC 17025:2017
  • EN ISO 23131:2022 Elipsometría - Principios (ISO 23131:2021)
  • ISO/IEC GUIDE 98-3 Incertidumbre de medición - Guía para la expresión de la incertidumbre en la medición (GUM:1995). Ampliación a cualquier número de cantidades de salida.

DIN 50989-5:2023-12 Historia

  • 2023 DIN 50989-5:2023-12 Elipsometría - Parte 5: Modelo de capas múltiples y capas periódicas; Texto en alemán e inglés.
  • 2023 DIN 50989-5:2023-03 Elipsometría - Parte 5: Modelo de capas múltiples y capas periódicas; Texto en alemán e inglés / Nota: Fecha de emisión 2023-01-27
  • 2023 DIN 50989-5:2023 Elipsometría - Parte 5: Modelo de capas múltiples y capas periódicas; Texto en alemán e inglés.
Elipsometría - Parte 5: Modelo de capas múltiples y capas periódicas; Texto en alemán e inglés.

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estándares y especificaciones

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