IEC 62047-30:2017
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 30: Métodos de medición de las características de conversión electromecánica de película delgada piezoeléctrica MEMS
- Estándar No.
- IEC 62047-30:2017
- Fecha de publicación
- 2017
- Organización
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Ultima versión
- IEC 62047-30:2017
IEC 62047-30:2017 Historia
- 2017 IEC 62047-30:2017 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 30: Métodos de medición de las características de conversión electromecánica de película delgada piezoeléctrica MEMS
