T/CATSI 09010-2021 (Versión en inglés)

Alcance: Capítulo 3 Términos, definiciones y abreviaturas Para facilitar la comprensión y la implementación de la norma, este capítulo proporciona los términos y definiciones de presión parcial de limpieza de cavidades de vacío óptico y algunas abreviaturas. Capítulo 4 Contaminantes de la cavidad de vacío Este capítulo proporciona principalmente los tipos de contaminantes en la cavidad de vacío óptico, incluyendo grasa, gotas, óxidos superficiales, etc. Capítulo 5 Estándares de limpieza Este capítulo brinda los requisitos para tres estándares de grado de limpieza: estándar de grado limpio, estándar de grado ultralimpio y estándar de grado peligroso. Capítulo 6 Preparación para pruebas Este capítulo presenta principalmente requisitos relevantes para aspectos importantes como piezas de prueba, ubicaciones de prueba, métodos de prueba, instrumentos y equipos de prueba. Capítulo 7 Pruebas y resultados Este capítulo proporciona principalmente los requisitos para los principios de prueba, los pasos de prueba y el juicio de los resultados de las pruebas. Apéndice A El apéndice brinda información básica sobre el equipo de prueba de limpieza, los parámetros del equipo y las condiciones de prueba, ejemplos de resultados de espectrometría de masas RGA de cavidad A, ejemplos de resultados de espectrometría de masas RGA de cavidad B y ejemplos de resultados faradaicos/de multiplicación de cavidad B.

T/CATSI 09010-2021 Historia

2021 T/CATSI 09010-2021 Especificaciones para probar la limpieza de cámaras de vacío ópticas.