Este documento especifica la clasificación, los requisitos, los métodos de prueba, las reglas de inspección y el marcado, embalaje, transporte y almacenamiento de las almohadillas de pulido compuestas de poliuretano/no tejido (en lo sucesivo denominadas almohadillas de pulido). Este documento es adecuado para almohadillas de pulido, utilizadas para pulir obleas de silicio, sustratos LCD y paneles de vidrio, sustratos de zafiro y otros materiales. También se puede utilizar para vidrio conductor ITO, sustratos de vidrio, fotomáscaras y máscaras LCD, berilio, cuarzo fundido, pulido. de fosfuro de indio, niobato de litio, tantalato de litio, acero inoxidable, tungsteno y vidrio expandido.
T/SHXCL 0004-2021 Historia
2021T/SHXCL 0004-2021 Almohadilla de pulido compuesta de tela no tejida/poliuretano