BS ISO 14606:2022 Cambios rastreados. Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad de pulverización. Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia.
1 Alcance Este documento brinda orientación y requisitos sobre la optimización de los parámetros de perfilado de profundidad de pulverización catódica utilizando materiales de referencia adecuados de una o varias capas, para lograr una resolución de profundidad óptima en función de la configuración del instrumento en espectroscopia de electrones Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X. y espectrometría de masas de iones secundarios. Este documento no pretende cubrir el uso de sistemas multicapa especiales como las capas dopadas delta.
BS ISO 14606:2022 Historia
2023BS ISO 14606:2022 Cambios rastreados. Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad de pulverización. Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia.
2015BS ISO 14606:2015 Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad de pulverización. Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia.