DIN 50451-3 E:2012-11
Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores - Determinación de oligoelementos en líquidos - Parte 3: Aluminio (Al), Cobalto (Co), Cobre (Cu), Sodio (Na), Níquel (Ni) y Zinc (Zn) en ácido nítrico utilizando ICP-EM
- Estándar No.
- DIN 50451-3 E:2012-11
- Fecha de publicación
- 1970
- Organización
- /
- Estado
- Remplazado por
- DIN 50451-3:2014
- Ultima versión
- DIN 50451-3:2014-11
DIN 50451-3 E:2012-11 Historia
- 2014 DIN 50451-3:2014-11 Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores. Determinación de trazas de elementos en líquidos. Parte 3: Determinación de 31 elementos en ácido nítrico de alta pureza mediante ICP-MS.
- 2014 DIN 50451-3:2014 Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores. Determinación de trazas de elementos en líquidos. Parte 3: Determinación de 31 elementos en ácido nítrico de alta pureza mediante ICP-MS.
- 2003 DIN 50451-3:2003 Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores - Determinación de trazas de elementos en líquidos - Parte 3: Aluminio (Al), cobalto (Co), cobre (Cu), sodio (Na), níquel (Ni) y zinc (Zn) en ácido nítrico por ICP-MS
